一种混合物理化学气相沉积法实验装置

摘要

本实用新型公开了一种混合物理化学气相沉积法实验装置，包括反应舱，以及设置在反应舱中的样品台和对样品台进行加热的加热系统，其特征在于，在反应舱内还设置了两个对样品台上材料进行操作的机械手，在保证反应舱处于良好真空度的状态下实现实验原料的更换和残余杂质的清理；进一步的，在反应舱内还设置有一个热助部件，可以加热熔点高的原料形成蒸气沉积在膜面上，形成所需的膜面或保护层。本实用新型通过机械手和热助部件，可一步完成了过去需要三次打开反应舱才能完成的镀膜工作，提高了成膜质量，可制备出高质量MgB