公开/公告号CN204302371U
专利类型实用新型
公开/公告日2015-04-29
原文格式PDF
申请/专利权人 西安银河网电智能电气有限公司;
申请/专利号CN201420707768.8
申请日2014-11-21
分类号
代理机构西安创知专利事务所;
代理人杨世兴
地址 710075 陕西省西安市高新区唐兴路6号唐兴数码206室
入库时间 2022-08-22 00:34:48
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-04-29
授权
授权
机译: 具有用于高压的薄膜的微机电换能器,其制造方法和包括该微机电换能器的系统
机译: 具有高压的薄膜微机电传感器,其制造方法和包含微机电传感器的系统
机译: 具有高压的薄膜微机电传感器,其制造方法和包含微机电传感器的系统