公开/公告号CN105675970A
专利类型发明专利
公开/公告日2016-06-15
原文格式PDF
申请/专利权人 西安银河网电智能电气有限公司;
申请/专利号CN201410675637.0
申请日2014-11-21
分类号G01R19/25;H02H3/26;
代理机构西安创知专利事务所;
代理人杨世兴
地址 710075 陕西省西安市高新区唐兴路6号唐兴数码206室
入库时间 2023-12-18 15:32:47
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-06-08
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01R19/25 申请公布日:20160615 申请日:20141121
发明专利申请公布后的视为撤回
2016-06-15
公开
公开
机译: 具有用于高压的薄膜的微机电换能器,其制造方法和包括该微机电换能器的系统
机译: 具有高压的薄膜微机电传感器,其制造方法和包含微机电传感器的系统
机译: 具有高压的薄膜微机电传感器,其制造方法和包含微机电传感器的系统