增加光阻预烤炉内独立温控区域数量的结构

摘要

本实用新型涉及一种增加光阻预烤炉内独立温控区域数量的结构，特别是指一种运用在液晶显示装置(LCD)制程上的光阻预烤炉装置，凭借增加独立控温的区域以增加玻璃基板的均温性及可控制性，能有效均匀的除去玻璃基板的光阻溶剂。其主要由腔体、热板、加热器、温度感应器及支撑底板所组成，该腔体底部为一热板；加热器设置于支撑底板上，并可对热板进行分区温控，而光阻预烤炉内设有温度感应器，可以侦测热板各区域的温度，再凭借温度感应器来调整加热器的温度，使热板的各区域温度达到相同，使位于热板上烘烤加热的玻璃基板达到均匀受热，达到除去玻璃基板的光阻溶剂及固化光阻，以利于后续的处理作业。