基于SPR的高灵敏度宽测量范围的折射率传感器

摘要

基于SPR的高灵敏度宽测量范围的折射率传感器，特征包括：激光光源，光隔离器，偏振控制器，微流通道，侧边抛磨单模光纤，载玻片上镀有金膜的芯片，光谱仪，微流泵；所述SPR传感区由载玻片上镀有金膜的芯片、微流通道和侧边抛磨单模光纤组成；微流通道是利用光刻蚀技术在侧边抛磨单模光纤的残余包层形成；载玻片上镀有金膜的芯片是利用离子溅射技术在硅基表面溅射金膜；由于微流通道中强的倏逝场和SPR效应，当微流通道折射率微小变化时，SPR谐振波长产生大的漂移；增大载玻片上镀有金膜的芯片和微流通道界面处的有效折射率差，提高测量范围。本实用新型提出一种实用、低成本的基于SPR的高灵敏度宽测量范围的折射率传感器。