一种电热法快速CVD制备C/C复合材料的沉积设备

摘要

本实用新型提供一种电热法快速CVD制备C/C复合材料的沉积设备，其包括用石英玻璃管制成的反应室，设置在反应室两端内侧的用于固定的法兰，设置在同一端两法兰之间用于密封的密封圈，设置在反应室两端用于向反应室内提供反应气体的入口及出口，该入口和出口同时用于接入加热电极；设置在反应室下方用于通电加热的直流稳压稳流电源。本实用新型采用石英玻璃做反应室，可以保证在沉积过程中，随时观察沉积情况，随时终止沉积过程，加热速度快，大大缩短了沉积时间，提高了沉积效率，也可随时调节沉积温度，无需水冷系统，简化了设备，降低了成本。