法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-12-21
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H02P8/40 授权公告日:20150218 终止日期:20151105 申请日:20141105
专利权的终止
2015-02-18
授权
授权
机译: 载物台驱动控制装置,包括该载物台驱动控制装置的投射曝光设备以及控制载物台驱动的方法
机译: 损害或破坏至少一种单细胞,生物和/或至少一种病毒,药物或产品的物质或药物组合物或化妆品组合物。这样的成分,对这种织物的制造过程来说,是化学化合物。此类和fremgangsmaadetil抑制或破坏至少一种单细胞,生物和/或至少一种病毒
机译: 驱动控制方法,驱动控制装置,载物台控制方法,载物台控制装置,曝光方法,测量装置以及曝光装置