一种高品质因子高共振频率的带针尖的微悬臂梁扫描器

摘要

本实用新型公开了一种高品质因子高共振频率的带针尖的微悬臂梁扫描器，包括微纳加工工艺一体成型的微米级针尖和微悬臂梁，其中针尖位于微悬臂梁的窄面上且针尖的指向与该微悬臂梁窄面法线的夹角不大于45°，所述的针尖和微悬臂梁的材料均为单晶硅或单晶二氧化硅，在针尖和微悬臂梁上均镀有铂铱合金层、黄金、钴、铬或镍。本实用新型利用光刻技术加腐蚀削尖技术制作出的曲率半径为2nm的针尖适合STM的针尖，制作出的高品质因子Q高共振频率的带针尖的微悬臂梁可用作STM的扫描器。