基于双层梳齿驱动的MEMS可动闪耀光栅光调制器

摘要

本发明涉及MEMS光调制器技术领域，具体涉及一种MEMS闪耀光栅光调制器和阵列:所述MEMS大转角可动闪耀光栅光调制器，采用双层梳齿驱动，并将双层梳齿驱动位置布置在光栅镜面两端的柔性支撑梁上。使用多个可动闪耀光栅光调制器构成阵列时，每一个双层梳齿驱动的MEMS大转角可动闪耀光栅光调制器均可在驱动电路控制下独立动作，而且每个光栅镜面间的间隙很小。本结构使光栅可以向两侧发生大角度偏转，具有偏转角大、衍射效率高、调谐频率高、防粘附的优点。这种光栅光调制器及其阵列，可应用于光谱仪、光通信、精密测量、激光整形、显示等领域。