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公开/公告号CN104094377B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-05-11
原文格式PDF
申请/专利权人 弗劳恩霍弗实用研究促进协会;
申请/专利号CN201280062842.9
发明设计人 H.莫格纳;G.马陶施;C.梅茨纳;M.容黑内尔;R.拉比茨克;L.克洛泽;T.维尔纳;J.库布斯;
申请日2012-10-17
分类号H01J37/32(20060101);
代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;
代理人卢江;刘春元
地址 德国慕尼黑
入库时间 2022-08-23 09:39:31
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-05-11
授权
2014-10-29
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20121017
实质审查的生效
2014-10-08
公开
机译: 在工作真空室中产生空心阴极电弧放电等离子体并通过减少流过空心阴极的气体流量来调节暴露于空心阴极电弧放电等离子体的物料蒸汽颗粒的方法
机译: 用于产生空心阴极电弧放电等离子体的装置
机译: 用于产生空心阴极电弧放电等离子体的设备
机译:带有冷空心阴极的电弧源产生的气体放电等离子体
机译:用冷空心阴极在电弧源中产生气体放电等离子体
机译:用于在低压电弧放电等离子体中产生聚合物纳米复容材料的装置
机译:氩氧混合气体高频空心阴极放电等离子体的产生及光谱特性
机译:用于产生电弧的高压转换器的电源变压器的设计。
机译:用于产生用于消毒的氢氰酸气体的装置
机译:来自空心阴极放电等离子体的紫外线辐射的特性,用于医疗制品的灭菌
机译:用于等离子体产生的空心阴极产生的电子束:气体混合物中的阴极操作