高精度双重传感器激光扫描振镜系统及其扫描振镜电机

摘要

本实用新型属于激光加工技术领域，尤其涉及一种高精度双重传感器激光扫描振镜系统及其扫描振镜电机，包括聚焦系统、执行电动机、控制系统，所述聚焦系统与所述执行电动机连接，所述执行电动机与所述控制系统连接，扫描振镜电机包括与所述同轴振镜电机分别连接的光栅传感器、光电传感器。本实用新型的有益效果是：实现了电机位置的实时校准功能，借助温度漂移控制系统减少系统的温漂问题，最终完成激光的高精度定位。