一种纳米氧化铝基钯膜石英晶体微天平传感器

摘要

本实用新型提供了一种纳米氧化铝基钯膜石英晶体微天平传感器，该传感器包括一个石英晶体片(1)，所述石英晶体片(1)基底是镀铝膜层(2)，所述镀铝膜层(2)表面是纳米三氧化二铝膜层(3)，所述纳米三氧化二铝膜层(3)表面是镀钯膜层(4)，形成一种基于纳米氧化铝基钯膜的石英晶体微天平传感器。其中，纳米三氧化二铝的形状为球形，纳米三氧化二铝的粒径为1~50nm。本实用新型的效果和益处在于所述纳米氧化铝基钯膜石英晶体微天平传感器具有制作简单、成本低廉、灵敏度高、抗腐蚀性和稳定性好等优点。