面向规则金刚石工具头超精密研磨/抛光加工平台

摘要

本实用新型涉及一种面向规则金刚石工具头超精密研磨/抛光加工平台，属于精密、超精密加工领域。包括由平台支撑装置、三自由度装置、力传感器与声发射传感器控制单元、工具头加持单元，三自由度装置提供Z轴移动、绕Z轴转动和绕Y轴转动的三个运动自由度，同时提供加工时所需要的载荷力；力传感器检测工件（金刚石工具头）在加工过程中所受到的作用力，声发射传感器检测加工过程中材料去除的动态过程。可用于规则金刚石工具头的修复和光整加工，加工平台具有结构紧凑，操作简单，效率高，适用性强等优点。还能够通过多自由度的调整对工件进行精密加工，通过传感器控制加工过程，从而保证工件加工表面的平面度、提高工件的加工效率和表面质量。