真空泵、真空排气装置及真空泵的运转控制方法

摘要

本发明提供一种在不会发生失调、能够实现稳定的排气动作的真空泵、真空排气装置及真空泵的运转控制方法。真空泵具有：转子（21、22）；驱动马达（35）；磁耦合机构（50），其以第1阈值（Th1）以下的转动扭矩向所述转子传递所述驱动马达的转动力。该真空泵的运转控制方法为：当所述负载扭矩为比所述第1阈值（Th1）小的第2阈值（Th2）以下时，增大所述驱动马达（35）的转速，当所述负载扭矩超过所述第2阈值（Th2）且为所述第1阈值（Th1）以下时，减小所述驱动马达（35）的转速。