滑阀真空泵,罗茨真空泵及其真空机组

摘要

滑阀真空泵、罗茨真空泵及其真空机组谈治信（兰州物理研究所，兰州７３００００）分类号：ＴＢ７５２滑阀式真空泵（简称滑阀泵）和罗茨真空泵（简称罗茨泵）及其由该泵组成的真空机组近几年来随着真空冶金、真空热处理、真空冷冻干燥、真空镀膜等各种领域的发展需要而得...