一种高精度双端固定谐振音叉式压力传感器

摘要

本实用新型公开了一种高精度双端固定谐振音叉式压力传感器，其包括压力承载单元、微杠杆机构、柔性接触点、压力音叉、参考音叉、激励压电元件、测频压电元件、主体和嵌入式处理模块，所述压力音叉和参考音叉位于同一块恒弹性合金基材主体上，大小相同，位置相邻，两个音叉的音叉臂互相平行，且均有一个激励压电元件和一个测频压电元件安装在各音叉的两个音叉臂上，激励压电元件输入与测频压电元件输出均连接到嵌入式处理模块中，参考音叉两端固定在主体上，压力音叉一端固定在主体上，另一端与微杠杆机构相连，微杠杆机构一端与恒弹性合金基材通过一个柔性接触点相连，微杠杆机构另一端上方与压力承载单元相连。上述压力传感器采用两个谐振音叉的组合方式，结构简单，温漂补偿实现方便，提高了压力传感器的长期使用精度。