表面翘曲测量板以及翘曲测量装置

摘要

提供了一种表面翘曲测量板和一种翘曲测量装置。所述表面测量板包括：板部分，具有平坦的表面；第一凹槽，从板部分的表面凹入并且沿第一方向延伸；第二凹槽，从板部分的表面凹入并且沿与第一方向交叉的第二方向延伸。根据本实用新型的表面翘曲测量板和翘曲测量装置能够使测量板的翘曲的时间缩短同时能够抑制对板的损坏。