公开/公告号CN203346471U
专利类型实用新型
公开/公告日2013-12-18
原文格式PDF
申请/专利权人 光垒光电科技(上海)有限公司;
申请/专利号CN201320346387.7
发明设计人 黄允文;
申请日2013-06-17
分类号
代理机构深圳市铭粤知识产权代理有限公司;
代理人杨林
地址 200050 上海市长宁区延安西路889号1106B室
入库时间 2022-08-21 23:58:49
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-08-12
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C16/455 授权公告日:20131218 终止日期:20140617 申请日:20130617
专利权的终止
2013-12-18
授权
授权
机译: 用于将气体引入外延反应器的腔室中的设备,包括这种气体引入设备的反应器腔室以及这种腔室用于产生半导体层的用途
机译: 平面III-V半导体结构通过气相外延-在有机化学气相沉积Gp.III和V元素作为封闭层之前,先蚀刻外延有源层
机译: 用于校准外延反应器的温度测量系统的方法包括在衬底上外延层的沉积期间使用反应器的处理室中的温度。