法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-10-23
授权
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机译: 用于将MEMS(微机电系统)超声转换的装置,一种PMUT(压电微机械超声换能器)装置以及一种将有源转换器与多个钝化层相结合的有源矩阵转换器(一种方法)和一种用于解决问题的方法系统)超声波
机译: 用于诸如极端紫外线(EUV)投影曝光系统的投影曝光系统的微机械或微机电装置,具有温度控制装置,该温度控制装置设置有气体供应单元和排气单元
机译: 一种用编程的微机,电控或闭环控制装置检查印刷电路板可操作性的方法