基于机器视觉的太阳能硅晶片颜色自动检测装置

摘要

本实用新型属于产品检测装置，具体涉及一种通过机器视觉技术对太阳能硅晶片表面颜色缺陷进行检测的装置，所检测的对象是硅晶片在经过等离子体增强化学气相沉积该道工序后其表面颜色的分布信息。检测装置包括上料工位、视觉工位和硅片分类工位，视觉工位装置包括光源、高速相机和工控机；工控机包括内置图像处理软件的中央处理器和显示器；光源采用四根条形白色荧光灯，其均匀分布在灯箱的顶部，灯箱的下面使用漫反射板遮盖；高速相机采用面阵CCD相机，固定在机架的横杆上；硅片分类工位装置是单轴机器人。本实用新型装检测置能够实时在线、稳定准确、高效地检测硅晶片表面颜色缺陷。