晶圆研磨液供应系统的过滤器拆换自动回补注压装置

摘要

一种晶圆研磨液供应系统的过滤器拆换自动回补注压装置，伴设于主混合槽后送至晶圆研磨液供应槽，再通往晶圆研磨机途中的每个过滤器换洗管路旁，其由备用混合槽、数个气动控制阀、排放管、数个传感器，及管控气压源气压流向气动控制阀的电脑连接而成，其中备用混合槽流入端接到主混合槽溢流端，备用混合槽流出端管接数个气动控制阀叉连接到临近过滤器换洗管路的过滤器流入端，且临近过滤器流入端所接的一气动控制阀为单进二出的气动控制阀，备用混合槽流出端连接一气动控制阀后，旁分数个叉路管接气动控制阀选换导入纯水或氮气，于每一过滤器顶部的排流端设置一感应器。本实用新型让研磨液供应不会产生整体系统压降保持供应流量及供应压力稳定。