公开/公告号CN202830160U
专利类型实用新型
公开/公告日2013-03-27
原文格式PDF
申请/专利权人 上海新产业光电技术有限公司;
申请/专利号CN201220477657.3
申请日2012-09-19
分类号
代理机构
代理人
地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区居里路108号二期通用厂房丙单元
入库时间 2022-08-21 23:44:32
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-03-27
授权
授权
机译: 用于通过磁控管的靶涂覆基板的反应磁控溅射,包括:将与磁控管相对的基板布置;通过溅射雾化靶材料;以及将溅射的靶材料沉积到基板上
机译: 平面磁控溅射源处理提高了涂层厚度的均匀性台阶覆盖率和台阶覆盖率的均匀性
机译: 平面磁控溅射源可提高涂层厚度均匀性,台阶覆盖率和台阶覆盖率均匀性