类单晶硅太阳能电池用叠层减反射膜

摘要

一种类单晶硅太阳能电池用叠层减反射膜，在太阳能电池类单晶硅片（3）的前表面，从内至外依次设有ZnO空心球薄膜（2）和氮化硅薄膜（1）；ZnO薄膜（2）的厚度为15~20nm；氮化硅薄膜（1）的厚度为30~40nm。本实用新型所用的ZnO空心球薄膜折射率为2.03，氮化硅薄膜的折射率为1.4~1.7，这种叠层膜与单层膜相比具有更好的光学匹配特性，不仅对在硅的主光谱响应的550nm的光有优异的减反射效果，而且对波长在300~1200nm范围内的光都有很好的件反射和吸收效果，从而提高类单晶硅太阳能电池的转换效率。