超声波辅助下水浴真空物理气相沉积厚膜的系统装置

摘要

本实用新型超声波辅助下水浴真空物理气相沉积厚膜的系统装置，主要包括有具有真空室、沉积厚膜的TFT基片、基片温度控制仪、真空抽气泵、循环冷却水管、膜原料蒸发管及其水浴加热槽超声波产生器。本实用新型的装置结构简单，易于操作，可重复使用；特别适合于制备较大面积的探测器级碘化汞薄膜。本实用新型属于真空蒸发厚膜生长领域，涉及熔点或升华温度低于200摄氏度材料的厚膜的生长，特别是一种作为χ射线、γ射线探测器的碘化汞厚膜的生长系统，属物理气相沉积技术领域。