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一种物理气相沉积法生长大尺寸碳化硅单晶的石墨坩埚

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本实用新型涉及一种物理气相沉积法生长大尺寸碳化硅单晶的石墨坩埚，包括收容碳化硅原料的坩埚桶和上盖，在所述坩埚桶的内壁上部和上盖的外壁上设置有相互旋合的螺纹，所述上盖和坩埚桶通过螺纹连接；在所述的坩埚桶内壁上设置有放置多孔石墨板的定位块；在定位块上放置有多孔石墨板，所述多孔石墨板的外径与坩埚桶的内径相适应。本实用新型有效的避免了生长过程中碳化硅原料的碳化对晶体生长造成的影响，提高晶体生长的稳定性和成功率。

著录项

公开/公告号CN202430332U

专利类型实用新型
公开/公告日2012-09-12

原文格式PDF
申请/专利权人山东天岳先进材料科技有限公司;
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申请/专利号CN201220020783.6
发明设计人高玉强;胡小波;郝霄鹏;
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申请日2012-01-17
分类号C30B23/02(20060101);C30B29/36(20060101);
代理机构37219 济南金迪知识产权代理有限公司;
代理人吕利敏
地址 250000 山东省济南市高新区新泺路银荷大厦C座3层
入库时间 2022-08-21 23:34:03

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-01-17

专利权的转移 IPC(主分类):C30B23/02 登记生效日:20191231 变更前: 变更后: 申请日:20120117

专利申请权、专利权的转移
2020-01-10

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):C30B23/02 授权公告日:20120912 登记号:2019370000145 出质人:山东天岳晶体材料有限公司质权人:中国建设银行股份有限公司济南高新支行解除日:20191216 申请日:20120117

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2019-07-19

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):C30B23/02 授权公告日:20120912 登记号:2017370000066 出质人:山东天岳晶体材料有限公司质权人:中国建设银行股份有限公司济南高新支行解除日:20190626 申请日:20120117

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2017-07-11

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):C30B23/02 登记号:2017370000066 登记生效日:20170616 出质人:山东天岳晶体材料有限公司质权人:中国建设银行股份有限公司济南高新支行实用新型名称:一种物理气相沉积法生长大尺寸碳化硅单晶的石墨坩埚授权公告日:20120912 申请日:20120117

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2017-07-07

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):C30B23/02 授权公告日:20120912 登记号:2016990000657 出质人:山东天岳晶体材料有限公司质权人:中国建设银行股份有限公司济南高新支行解除日:20170615 申请日:20120117

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2016-12-21

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):C30B23/02 授权公告日:20120912 登记号:2015990000494 出质人:山东天岳晶体材料有限公司质权人:中国建设银行股份有限公司济南高新支行解除日:20160726 申请日:20120117

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2016-08-24

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):C30B23/02 登记号:2016990000657 登记生效日:20160729 出质人:山东天岳晶体材料有限公司质权人:中国建设银行股份有限公司济南高新支行实用新型名称:一种物理气相沉积法生长大尺寸碳化硅单晶的石墨坩埚授权公告日:20120912 申请日:20120117

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2015-08-12

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):C30B23/02 登记号:2015990000494 登记生效日:20150618 出质人:山东天岳晶体材料有限公司质权人:中国建设银行股份有限公司济南高新支行实用新型名称:一种物理气相沉积法生长大尺寸碳化硅单晶的石墨坩埚授权公告日:20120912 申请日:20120117

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2013-10-30

专利权的转移 IPC(主分类):C30B23/02 变更前: 变更后: 登记生效日:20130927 申请日:20120117

专利申请权、专利权的转移
2012-09-12

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