一种在线检测硫酸盐镀铜溶液的镀液成分的设备

摘要

本实用新型属于检测设备技术领域，涉及一种在线检测硫酸盐镀铜溶液中镀液成分的设备；它包括探头支架及设置于所述探头支架的光强度检测装置、电导率检测装置、温度检测装置、氯离子检测装置，还包括数据处理装置，所述数据处理装置分别与所述光强度检测装置、所述电导率检测装置、所述温度检测装置、所述氯离子检测装置电连接。本实用新型可以直接、实时、准确地检测硫酸盐镀铜溶液中镀液的成分，有效地监控硫酸盐镀铜溶液的镀液的主要成分波动情况，保证硫酸盐镀铜工艺的稳定性和生产的持续性。