集成平面变栅距光栅和微狭缝的微型光谱仪及其制造方法

摘要

本发明适用于光谱分析仪器领域，公开了集成平面变栅距光栅和微狭缝的微型光谱仪及其制造方法。微型光谱仪包括阵列光电探测器、上透光平板和下透光平板；上透光平板上设置有隔光层，隔光层上设置有透射狭缝；下透光平板上设置有变栅距光栅。本发明提供的微型光谱仪基于平面变栅距光栅这一核心器件，该器件既有普通衍射光栅的分光作用，又通过栅线的变化起到像差校正作用。设置了透射微狭缝为系统入光口，克服了反射式微狭缝难以隔绝环境光干扰、系统封装不便、杂散光强的缺点，降低了系统集成的难度，提高了光谱信号检测的精度。制造方法完全被MOEMS工艺兼容，体积微小紧凑，适用于对体积有严格要求的嵌入式光谱检测系统，且检测精度高、检测效果好。