一种黑硅光谱特性探测平台

摘要

本实用新型涉及一种黑硅光谱特性探测平台，氕灯和钨灯、单色仪、透镜、测透射光的样品室、测反射光的样品室、积分球依次固定在光学平台上。积分球上设置通光口和探测口，测透射光的样品室和测反射光的样品室分别与积分球通光口相连，光电倍增管、砷化镓铟探测器、硫化铅探测器分别与积分球的探测口连接；积分球将光信号完整收集到样品室中；然后根据光谱范围，分别进入光电倍增管、砷化镓铟探测器、硫化铅探测器，在紫外区、可见区和近红外区超宽波段范围内分段检测，最后实现该黑硅材料在宽光谱范围内透射和反射特性的定性和定量分析。本实用新型结构简单，使用方便，测试结果精准。