基于黑硅吸收层的多层组合纳米膜红外探测器及其气体检测技术

摘要

气体泄漏或过量等引起的事故时有发生,及时地预警和监测对国民的生产和生活十分重要,高灵敏红外光学检测方法具有很好的应用前景,然而关键部件红外探测器的微型化、低功耗与高响应性能有待提高,要实现高灵敏检测需要长光程,大的结构与功耗制约了其使用.本项目旨在研究具有强红外吸收性能的纳米森林黑硅结构的制备与性能表征、微型折叠多反射光路气室结构、浓度计算方法及其集成技术,为高灵敏、微型化的光学气体传感器提供一定的技术参考和理论基础.