等离子体处理室及具有倾斜上表面的热边缘环

摘要

一种具有延长寿命的热边缘环，包含具有倾斜上表面的环形本体。该热边缘环包括垫起在其中使用等离子体处理该衬底的等离子体处理室中支撑的半导体衬底的外缘的台阶。该台阶包括围绕该衬底的该外缘的竖直表面和从该竖直表面的上沿向上和向外延伸的该倾斜表面。