一种区熔法生长单晶硅用硅籽晶夹持器

摘要

一种区熔法生长单晶硅用硅籽晶夹持器，它包括：籽晶夹持器主体(1)和与籽晶夹持器主体(1)相配合的紧固套(2)，所述的籽晶夹持器主体包括上部圆锥体(1b)，下部基座(1C)为圆柱体，该圆柱体外部开有螺纹，紧固套内部开有与夹持器下部基座(1c)外部螺纹相匹配的螺纹。本实用新型的优点是利用紧固套使夹持部分安放籽晶的空腔收缩夹紧籽晶，籽晶在生产过程中不会发生晃动；通过相对旋转紧固套和夹具主体可以方便的拿出或放入籽晶。籽晶的加工只需要尺寸满足放入夹持部分内部空腔的需要即可，对籽晶的形状没有严格要求。