公开/公告号CN201532938U
专利类型实用新型
公开/公告日2010-07-21
原文格式PDF
申请/专利权人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;
申请/专利号CN200920209611.1
发明设计人 李广宁;
申请日2009-09-11
分类号H01L21/00(20060101);
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人屈蘅;李时云
地址 201203 上海市张江路18号
入库时间 2022-08-21 23:11:06
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-10-11
专利权有效期届满 IPC(主分类):H01L21/00 授权公告日:20100721 申请日:20090911
专利权的终止
2013-03-20
专利权的转移 IPC(主分类):H01L21/00 变更前: 变更后: 登记生效日:20130219 申请日:20090911
专利申请权、专利权的转移
2010-07-21
授权
授权
机译: 用于保护元件的保护罩,以防止中空装药的射弹,带有保护罩的保护元件以及受保护的物体
机译: 用于播种或种植受底面侵蚀的风和水侵蚀的方法和设备
机译: 形成半导体装置的金属互连以防止侧壁受等离子体离子溅射的侵蚀的方法