公开/公告号CN201469439U
专利类型实用新型
公开/公告日2010-05-19
原文格式PDF
申请/专利权人 敦朴企业股份有限公司;
申请/专利号CN200920167457.6
发明设计人 丁治宇;
申请日2009-07-24
分类号
代理机构天津三元专利商标代理有限责任公司;
代理人高凤荣
地址 中国台湾台北县
入库时间 2022-08-21 23:09:20
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-08-16
专利权有效期届满 IPC(主分类):A61C3/08 授权公告日:20100519 申请日:20090724
专利权的终止
2010-05-19
授权
授权
机译: 用于微光刻的掩模版照明系统,具有用于使光均匀化的混光棒,以及在出射端将来自混光棒的光引导回去的反馈透镜,以在进入端引导入混光棒
机译: 制备入射镜的装置,包括入射镜的掠射光刻设备,用于提供入射镜的掠射方法,用于增强掠射镜的EUV反射的方法,制造方法和掠射装置
机译: 用于工件的加工激光,包括激光棒,平面输出镜,望远镜和望远镜的输出透镜或一组输出透镜,以无限地形成激光棒末端的缩小的几何表示