一种铝掺杂氧化锌靶材及其制备方法

摘要

本发明提供了一种铝掺杂氧化锌靶材及其制备方法，本发明首先将铝盐和粘结剂溶解于溶剂中，然后加入锌盐粉末，搅拌烘干后得到混合粉末，将混合粉末依次进行压制成型和烧结，制备得到铝掺杂氧化锌靶材，本发明制备方法简单，生产成本低，适合产业化发展，制得的铝掺杂氧化锌靶材品质较高。