公开/公告号CN201191176Y
专利类型
公开/公告日2009-02-04
原文格式PDF
申请/专利权人 超煜电子科技(常熟)有限公司;
申请/专利号CN200820035126.2
发明设计人 江强;
申请日2008-04-11
分类号
代理机构苏州创元专利商标事务所有限公司;
代理人范晴
地址 215500 江苏省常熟市东南开发区银环路18号
入库时间 2022-08-21 23:01:51
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-05-04
专利权有效期届满 IPC(主分类):G01B7/34 授权公告日:20090204 申请日:20080411
专利权的终止
2009-02-04
授权
授权
机译: 保持平面度的方法,保持平面度的单元和装置,以及盘的制造方法和装置
机译: 保持平面度的方法,保持平面度的单元和装置,以及盘的制造方法和装置
机译: 保持平面度的方法,保持平面度的单元和装置,以及盘的制造方法和装置