用于垂直外部腔体表面发射激光器的光学元件

摘要

本发明涉及一种用于VECSEL或VECSEL阵列的光学元件。该光学元件由衬底(200)形成，该衬底至少在光学辐射的波长区域中是透明的。衬底(200)的第一界面包括一个或若干个弯曲区域，其形成集成在衬底(200)中的光学透镜或光学透镜阵列(220)的一部分。衬底(200)还包括一个或若干个光学反射镜(210)，其形成于衬底(200)的与第一界面相对的第二界面上或者嵌在衬底(200)中。光学反射镜(210)布置和设计成往回反射入射在第一或第二界面上的光学辐射的一部分。光学反射镜(210)是平坦反射镜，或者是曲率半径不同于弯曲区域(220)的曲率半径的弯曲反射镜。该光学元件允许制作具有高亮度的VECSEL或VECSEL阵列，而在制作期间不需要附加调整。VECSEL布置在距光学反射镜(210)一距离(L)处，且这等于外部腔体的程度。光学透镜的ROC可以选择为ROC=L/2，并且对于光学反射镜，ROC>L。腔体长度可以由单片分隔物(120)调整。