一种防止硅片在生长多晶过程中产生崩边的石英舟

摘要

一种防止硅片在生长多晶过程中产生崩边的石英舟，它包括：石英舟架，石英舟定位棒，石英舟定位管，上料棒，所述的石英舟上料棒的外面，套一个石英护管，石英护管的直径较上料棒大，石英护管上开槽，开槽的位置为上料棒开槽的上方，且垂直于上料棒的轴线。本实用新型的优点是：因在上料棒上增加了护管，使上料棒和其上方的护管较原来增加了硅片与石英舟相近的面积，相近处产生的留层使得该处的生长速率较硅片的其他部分的生长速率慢，即该处的多晶硅的厚度较硅片的其它部分的多晶硅的厚度薄，多晶越薄产生的硅片的崩边越少，提高了产品收率。