电解法腐蚀硅片过程中产生的晶态二氧化硅

摘要

本文用富里叶红外光谱及Ｘ射线衍射对在氢氟酸中电解硅片时形成的多孔硅膜进行了分析，发现除了硅以外，其中还有晶态的二氧化硅（鳞石英）存在，由此说明多孔硅表面的硅氧化合物并非都是样品制备后在大气中氧化造成的，它对多孔硅发光有很大的关系．