一种用石英多晶材料作为弹性元件的应变式压办传感器

摘要

本文介绍了一种新的应变式压力传感器,它利用石英多晶作为弹性元件,用阴极溅射法制成应变电阻。本文对传感器的结构设计、制作工艺都做了较详细的探讨和研究,并制成一个传感器样品,对其作了一系列性能测试。