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光学检测装置以及具有光学检测装置的阵列测试装置

摘要

本文公开一种光学检测装置以及一种具有所述光学检测装置的阵列测试装置。本发明可以简化用于调整光学系统放大率的结构,并且防止在调整光学系统放大率时产生外来杂质,从而防止外来杂质污染光学系统或玻璃面板。

著录项

  • 公开/公告号CN102798634B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-04-27

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 塔工程有限公司;

    申请/专利号CN201110242564.2

  • 发明设计人 潘俊浩;郑东贤;李宁郁;

    申请日2011-08-23

  • 分类号

  • 代理机构北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人张文

  • 地址 韩国庆尚北道

  • 入库时间 2022-08-23 09:38:29

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-04-27

    授权

    授权

  • 2013-01-23

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/88 申请日:20110823

    实质审查的生效

  • 2012-11-28

    公开

    公开

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