法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-08-04
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G12B21/04 授权公告日:20080206 申请日:20070306
专利权的终止
2008-02-06
授权
授权
机译: 一种利用离子束,SPM纳米探针和CD-SPM纳米探针制造SPM纳米探针和临界尺寸SPM纳米探针的方法
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