盘片握持器及具有该盘片握持器的盘片旋转装置

摘要

本实用新型公开一种盘片握持器，适用于一化学机械研磨设备的一盘片旋转装置。盘片握持器包括一座体及一围篱。座体具有一承接面于其底部，用以让一盘片承接其上。围篱连接至座体的外缘，并自座体的外缘朝向座体的上方延伸。此盘片握持器可通过增设的围篱在离心力的影响下阻止在座体上的碎屑被甩离自座体。