一种在光纤锥圆表面溅射Pd膜氢敏感探头

摘要

本实用新型公开了一种在光纤锥圆表面溅射Pd膜氢敏感探头。它由宽光源，光谱仪和计算机，多模光纤，光纤耦合器，光纤锥圆探头，Pd膜，反射膜层组成。将光纤锥圆氢敏传感探头与光纤耦合器相连，多模光纤分别与宽光源和光谱仪和计算机相连，宽光源通过多模光纤和光纤耦合器后照射到光纤的氢敏感区，激发Pd膜中的自由电子产生表面波，表面波在氢气浓度的变化下产生表面等离子共振，导致光波损失。反射膜层反射回来的光束通过光纤耦合器和多模光纤传输至光谱仪和计算机接收。计算机分析氢气浓度变化后的光谱信息，由光谱信息的变化而获得氢气浓度值。该技术的实施可以使其对氢气敏感的灵敏度提高，且测试系统性能可靠，精度高。