Pd-Ag合金膜拉锥光纤H_2敏传感器研究

摘要

采用熔融拉锥机,制作了具有均匀腰锥的H2敏传感器结构。拉锥长度设定为9000μm,拉锥速度0.1mm/s,火焰高度为3mm,拉锥后光纤的腰锥体处的均匀直径为30μm。用电子束蒸发装置在拉锥光纤均匀锥段表面上生长H2敏Pd-Ag合金薄膜,镀膜室内真空度为2.9×10-3Pa,束流为0.35A/s,沉积时间为10min,膜厚为50nm。设计了拉锥光纤H2敏传感器的实验装置,测试数据表明:Pd-Ag合金膜拉锥光纤H2敏传感器能够精确检测低于4%的H2浓度,适合于单点或多点分布式H2泄漏探测。