气态化学品向形成于中间介质层中的腔体内的注入以用于之后的热扩散释放

摘要

本发明通常涉及用于通过凭借将气体引入到包围MEMS设备的切换元件的腔体中来降低切换时的冲击速度来延长MEMS设备的寿命的方法。利用将离子注入到在容纳切换元件的腔体附近并经由通道连接到该腔体的腔体中来引入所述气体，气体可以通过所述通道从一个腔体流动到另一个腔体。注入能量选择为将许多原子注入靠近腔体的内顶部和底部，使得退火时那些原子扩散进入腔体内。气体提供降低切换MEMS设备的动能的气体阻尼，于是所述切换MEMS设备应具有更长的寿命。