置于真空室和分子泵、油封机械泵间的半导体冷阱装置

摘要

本实用新型公开一种真空室和分子泵、油封机械泵间的半导体冷阱装置。半导体冷阱为一真空容器，在容器里，四周置有塔状的器件。器件是由金属板、半导体致冷器件、感温探头、金属水冷板、水管组成，半导体致冷器件居金属板和金属水冷板间，感温探头粘接在金属板上，金属板在半导体致冷器件的上方，导线的一端和半导体致冷器件连接，另一端和容器外的真空密封电极连接；金属水冷板下方设有水管，水管接冷却水管引出口。感温探头通过导线与控制器连接。本实用新型克服目前在真空室和主泵、粗抽管道和粗抽泵之间增加捕油液氮冷阱和氟里昂制冷障板的不足，有效的阻挡油封机械泵对真空粗抽系统的返油，克服或减少油气对真空系统的危害，从而提高了真空系统的真空度，满足加速器工作要求。