双光路自准直镀膜厚度光学监控装置

摘要

本实用新型涉及一种监控镀膜的镜面反射率的双光路自准直镀膜厚度光学监控装置，为了解决实现透射与反射监控模式间转换、消除系统漂移问题，本装置采用了由斜面镀有反射膜的直角分束棱镜(7)和直角反射棱镜(8)构成的分光元件(15)，在直角分束棱镜(7)上还覆盖一条挡光铝箔(13)，真空室(11)内安装自准直透镜(5)和比较片(6)。通过光闸(9)的上下往复运动，分别挡住参考光束和信号光束，形成双光路选择，参考光束和信号光束通过透镜L3将光信号聚焦到单色仪(12)上。由于本装置可以方便地取下直角分束棱镜(7)和自准直透镜(5)，不但实现透射与反射监控模式间转换、光斑小、光量利用率高，而且结构简单、维护方便、成本低，消除了系统漂移的问题。