金属萘酞菁配合物旋涂膜气体传感器元件

摘要

金属萘酞菁配合物旋涂膜气体传感器元件涉及气体传感器工作元件；在硅基底上固装二氧化硅层，真空蒸镀成对平面叉指铝电极均布在二氧化硅层上平面上，金属萘酞菁配合物旋涂膜层整体配置在真空蒸镀成对平面叉指铝电极上方，将其覆盖包容；本元件制备方法简单易行，制造价格低廉，有利于工业化生产，对气体灵敏度高、选择性好。