倾斜下电极式光开关的闩锁

摘要

本实用新型属于微光机电器件，涉及一种微机械光开关的闩锁包括：微反射镜1、悬臂2、下层基片3，固定梳齿4、可动梳齿5、锚点6、闩7位于下层基片3的上方，倾斜下电极8、倾斜绝缘层9、水平下电极10及水平绝缘层11，其中固定梳齿4、锚点6与下层基片3接触，可动梳齿5和闩7悬浮在下层基片3的上方并有间隙；固定梳齿4、可动梳齿5、锚点6位于悬臂2的下方两侧，闩7的一部分位于悬臂2下方两侧，闩7的另一部分靠近悬臂(2)下方；固定梳齿4与可动梳齿5交叉耦合。本实用新型使光开关在“开”和“关”的瞬间动作，其它时间均处于自然状态。保证光开关只在反射与通光变换时加电压，解决了能耗高的问题。具有节省能量、位移－电压线性关系好的优点。