鼠笼式射频低温等离子体灭菌装置

摘要

本实用新型涉及的鼠笼式射频低温等离子体灭菌装置，包括金属真空室(1)、密封门(2)、绝缘支架(5)、鼠笼式射频天线(4)、真空抽气通道(6)、阻抗匹配器(8)、射频电源(9)、真空计(10)、热电偶(11)、电磁阀(12)、空气过滤器(13)以及进液雾化器(14)，其特征在于金属真空室(1)为圆筒形或长方形，其密封门(2)上设有带防电磁辐射金属网的玻璃观察窗(3)，内壁上设有绝缘电极(7)、真空计(10)和热电偶(11)，且金属真空室(1)与射频电源(9)接地；金属真空室(1)上部设有进液雾化器(14)，下部与带有电磁阀(12)和空气过滤器(13)的进气通道连接；鼠笼式射频天线(4)由绝缘支架(5)固定于金属真空室(1)内，并通过绝缘电极(7)与阻抗匹配器(8)和射频电源(9)电连接。本实用新型结构简单，灭菌彻底，时间短，无残留，无毒性、无腐蚀性，耗能低，金属和非金属器械均适用。